製品情報
技術情報 プレサイスモーションコントロール技術
・高倍率検査用の精密ステージ技術。パーツ／組立精度、各種アライメント制御、制振構造までトータルで設計し、最適化コントロールを行います
・全自動装置化に必要な高速ハンドリングもフル・コミットメントして提供いたします
| No. | 実績搭載例 | 内容 | コンテンツ |
| 1 | 高精度・高速検査ステージ | インデックスステージ＋検査ステージの構成 | 動画準備中 |
| 2 | 低振動構造と防振システム | 構造簡易図面と防振システム図 | 準備中 |
| 3 | チップ・ハンドラー | チップテスターの高速ハンドリング | 準備中 |