製品情報
技術情報 DAL Test System
正確に測定したそれぞれのデータを使い、信頼性の高い「判定」をする複合技術です。
高速・高分解能で微細領域までデバイスを測定。I-L/I-V/NFP連続測定しPLD性能の判定を行います。
| No. | バリエーション | スペック・特長 |
DPLT |
DBLT |
DLTS |
備考 |
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LD Package |
LD BAR |
LD Package |
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| 1 | I-L測定 |
IL ： Iop / Vop / Ith / Vth / Pth / Pop / Eta / Rd / Kink 短時間でのILスイープ測定が可能 |
標準搭載 | 標準搭載 | 標準搭載 |
LDデバイスに電流を徐々に印可し、電流値・電圧値・光出力値を連続的に測定する特性検査
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| 2 | λ測定 |
光学波長測定 LiDARデバイスの波長を測定 |
標準搭載 | 標準搭載 | Option | 当社では国内外複数社の波長計及びスペクトラムアナライザーでの測定実績があります |
| 3 | FFP測定 |
θ∥ / θ⊥ / ⊿θ∥ / ⊿θ⊥ / Rθ∥ / Rθ⊥ LiDARデバイスの遠視野光強度分布測定 |
標準搭載 | Option | ─ | 当社オリジナル製品でもあるアームスキャンによるFFP測定系が標準となります |
| 4 | NFP測定 |
W∥ / W(1/e) / W(1/e2） 発光層毎の出力端近傍の光強度分布を測定 |
Option | 標準搭載 | ─ | 当社オリジナル製品でもあるCCD測定系が標準となります |
| 5 | DC測定（Ir/Vf） |
LDIr/LDVf |
Option | Option | Option | 逆バイアス印加時のリーク電流測定 高精度Vf測定が可能 |
| 6 | 可変Pulse測定 |
パルス幅可変：マイクロ～ミリsec Duty比は一定計測 |
Option | Option | Option | パルス幅に対するエネルギー依存性を観測できます |
| 7 | 温度調整ステージ |
温度=25℃一定(※無負荷時) |
標準搭載 | 標準搭載 | 標準搭載 | ペルチェコントロールによりステージ温度を一定にした状態で測定可能 |
