高機能自動外観(チップ6面)検査装置 DAVI-6000


製品名 | 高機能自動外観(チップ6面)検査装置 |
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型式 | DAVI-6000 |
メーカー | ダイトロン株式会社 |
メーカーロゴ | ![]() |
概要
本装置は半導体チップの寸法測定や傷検査といった高精度な外観検査を簡単に行えます。
- 高速長深度測定(多焦点撮像)
- 高精度測定
- 自由組換え画像処理フロー
- 高速6面検査測定
- ダメージレスハンドリング機構
DAVI-Engine(Daitron Automatic Visual Inspection Engine) ご紹介
当製品はダイトロン株式会社D&Pカンパニーの持つ高精度光学画像技術・装置システム技術のノウハウとAI(Deep Learning)を融合しています。
DAVI-Engineとはそれらを高次元で最適化した自社コア技術の総称です。
このEngineを搭載したアプリケーションにより、開発機から全自動検査装置までお客様へソリューション提供する。ヒトの目視による「製品の外観不良検査」からヒトを解放する事に貢献します。
https://www.daitron.co.jp/products/solution_automatic_visual_inspection.html
特長
高速長深度測定(多焦点撮像)
Z軸画像合成処理により高倍率レンズ使用時においても高速にて深度の深い画像が得られます。
また、傾斜したワークにおいて平面補正も行えます。
※1μmピッチにて20枚合成時:200msec以下(取得画像枚数によって処理時間は変わります)

高精度測定
1μm以下のエッジ欠陥や傷の検出が可能です。(20X時)
また任意の仮想ラインからのカケ、はみ出しのエッジ検査が行えます。

自動組換え画像処理フロ―
HALCONベースによる画像処理をドラッグ&ペーストでフロー作成が可能です。
プログラミングの知識がなくても高機能なHALCONライブラリが使えます。

自由なハードウェア選択
カメラ、レンズ、PCなど市場にある機器が自由に使えます。
ラインカメラでのリアルタイム観察も可能です。
お客さまの仕様に合わせたベストな選択が可能です。


主な仕様
標準装置仕様
装置名 |
高精度自動外観検査装置 DAVI-6000 |
測定ステージ |
6面ステージ仕様(前端面、右側面/上面、後端面、左側面) 底面は搬送時測定 |
オートフォーカス |
Z軸(設定分解能0.1μm)高速オートフォーカス機能(200msec/20枚) ※露光時間によって変わります |
対物レンズ |
20X(自由に選択可) |
検査分解能 |
1μmのキズ、コンタミ検査可 分解能0.25μm(20X時) |
照明 |
同軸落斜照明(3色高輝度LED)、リング照明(3色LED照明:ローアングル) |
除振台 |
アクティブ空圧除振台 |
制御 |
PC(Windowsベース) |
機能 |
自動検査シーケンス、品種登録、ロギング機能(結果データ及ぶ画像) 自動ステージクリーニング、コレット補正、消耗管理 |
画像処理 |
HALCONベースのオリジナルUI |
オプション |
ディープラーニング機能(AI)、 |
※検査ステージストロークはカスタマイズ可能です。検査対象物に合わせて設計いたします
●標準検査仕様
画像合成 |
任意ピッチによるZ軸画像合成機能、傾き補正合成 |
2ポジションフォーカス画像合成、凹凸判別、平面合成 |
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位置決め |
パターンマッチング(輪郭/正規相関)、エッジ位置、ペアエッジ、 円位置、位置補正 |
識別 |
OCR、2次元コード |
検査 |
トレンドエッジ、深さ検査、色抽出、ブロブ、動的しきい値、 特徴抽出、欠陥抽出 |
計測 |
フォーカス画像取得、各種寸法測定ツール |
フィルター |
グレイ変換、色空間変換、コントラスト変換、グレイ値分布計測、 平均グレイ値分布計測 |
膨張、収縮フィルター、オープニング、エンディングフィルター |
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ボトムハット、トップハット、ハイパス、平均化、メディアン、平滑化 |
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ラプラスフィルター、エッジ強調、コントラスト強調、2値化、反転 |
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グレイ値スケーリング、クリッピング、グレイ値距離 |
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光密度、しきい値範囲 |
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画像演算 |
各種演算処理 |
統計 |
最大、最小、平均値、標準偏差 |
出力 |
数値出力、キャリブレーション出力 |
図形作成 |
点作成、線作成、円作成 |
※上記以外の検査ツールは検査内容に応じて作成いたします。