技術情報
装置事業部門の技術情報
プレサイスモーションコントロール技術

安心/安全を考慮した設計
機構シミュレーション技術
製品へのダメージを配慮しつつ、高速で搬送する為に必要に応じて設計時に、たわみ量や振動への影響、剛性などを精査します。メカ設計は、3D-CADを使った図面展開を行い、平面図では分からない機構の干渉などを確認し、機械設計者だけでなく、組付ける製造部隊や他の電気/ソフト設計者らも交えて社内DRを行い実現性を精査します。さらに製作時には、高速カメラや加速度計、変位計を用いて、設計で検討したものが実現できているかを検証し、完成へと導きます。
機構制御技術
各機構の動作設定や調整は、オペレータや保守技術者が視認しやすい画面設計を行い、導入後の使い勝手にも配慮した装置作りを行います。
様々なサイズ/形状に対応したハンドリング設計技術
ピックアップ動作
数百μmと言う小さい製品を吸着ハンドリングさせ、更にμmオーダーで狙った位置に製品を搭載させ、プロービングすると言ったメカ制御を行う技術を保有しております。
大型品の搬送動作
μmオーダーの製品だけでなく、数mと言う大型のガラスパネルを正確に高速で搬送すると言った技術も保有しております。
塗布膜厚制御及び真空貼付技術
ウェーハを薄板化する前に支持基盤へと気泡(ボイド)なく貼り付ける技術の事を言います。WAXで接着する事になりますが、単に貼り付けただけでは気泡が入り、後の真空圧化における工程で気泡を起点に割れを発生させてしまいます。この気泡を無くすためにWAXの塗布膜厚の制御から貼付け時に後工程の真空圧環境下と同等にする事で、割れへの影響を低減させます。
関連製品
関連事業所
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対応可能端子検索
当社で加工対応可能な圧着端子を多数ご用意しております。各種圧着端子をお探しの際にぜひご活用下さい。
品質管理体制
当社は、国際標準化機構による品質また環境ISOを取得しており、日々継続的改善を行い、顧客満足度の向上、また環境保全に取り組んでおります。