製品情報

ウェーハチップソーター　WCS-821B/822B

製品名 ウェーハチップソーター
型式 WCS-821B/822B
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

・フラットリング（供給側）、トレー（収納側）のローダー、アンローダーを持つ全自動機です。
・チップごとにNGマーク判別、コーナーカケ検出、位置補正値検出を行います。
・リング交換時にウェーハ貼付機での角度ズレ検出（θ補正値）を付属画像装置で行います。
・ＷＣＳ-８２１Ｂ・・・Ｓｔａｃｋ ｔｏ Ｍａｇａｚｉｎｅ
・ＷＣＳ-８２２Ｂ・・・Ｓｔａｃｋ ｔｏ Ｓｔａｃｋ

特長

・最新式のリニア搬送ピックアップアームを採用した高速(0.5sec/1chip)型自動機FD分類が可能
・ダイシング後の半導体素子（チップ）のNGマークの有無や、前工程のプロービングマシンのデータ（FD）により、トレーに分離

主な仕様

タクトタイム ：０．５sec/chip〜
ウェーハサイズ：φ８”（φ６”）□140mm〜□40mm×６
トレーサイズ：□２”、□３”、□４” （JEDECトレーの場合MODEL:WCS-812J）
画像装置：多値化
チップθ補正：標準装備（±５°補正）
リング回転機構：標準装備（３６０°回転）
エックスハンド機構：標準装備
チップ剥離方法：非接触同期式