製品情報

ウエハーデマウンター DDMT-200-E

製品名 ウエハーデマウンター
型式 DDMT-200-E
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

本装置はデバイス形成後、薄板化されたウエハーを支持基板から剥離する装置です。 ウエハーを支持基板から剥離、洗浄し次工程で使用するダイシングテープへの貼り付けまでを一貫処理します。

【対応デバイス】

・素材:GaAs、InP、サファイア、Si

・ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8,12 インチ

特長

  • 独自の制御によるスライド機構。
  • 50μm厚以下の薄板ウエーハもダメージなく処理。
  • 困難だったウエハー剥離後の洗浄を自動化。

主な仕様

型式 DNLO-120 DNLO-220
バージョン Type0 Type1 Type0 Type1
対応サイズ φ4〜6″ φ6〜8″
構成 剥離部 剥離部 剥離部 剥離部
洗浄部1 洗浄部1 洗浄部1 洗浄部1
洗浄部2 洗浄部2 洗浄部2 洗浄部2
ウエハー受渡部 ウエハー受渡部 ウエハー受渡部 ウエハー受渡部
搬送部 搬送部
ローダー ローダー
アンローダー アンローダー
オプション 簡易防爆仕様
クリーンユニット