微細パーティクル除去技術
● 薄板化（t=200μm程）されたウェーハも流動可能
● 様々な洗浄方式を保有
　・表裏面同時スクラブ洗浄
　・メガソニックシャワー洗浄
　・スピン＋スクラブ洗浄
　・2流体（気体＋液体）シャワー洗浄
● 多彩なブラシ材質を提案
　・PVA、ナイロン、PP　などの材質
● 洗浄対象に合わせた部材形状
　・ローラータイプ
　・ペンシルタイプ
　・毛タイプ　など
● 少ない純水で洗浄が可能。また、界面活性剤の使用も可能
● 様々なシーン（目的）で活用可能
　・ポリッシュ後のスラリー除去

スパイラルロールブラシ※（PVA）の特徴
特殊なブラシ形状に変更する事で水の滞留を防ぎ、パーティクルを効率的に除去することができ、良好な洗浄結果が得られます。
※Daitronオリジナル製品（意匠登録済）
リフトオフプロセス
単なるリフトオフでは無く、液体槽にDIP（浸け）させ、温度や超音波をかけると共に、ウェーハを上下に揺動させる機構を持つ事で均一に処理し、より微細でダメージを与えることなく複雑なパターンの汚れを除去する事ができます。