製品情報

ウェーハジェットスクラバー　WJS-150B/200B/300B

製品名 ウェーハジェットスクラバー
型式 WJS-150B/200B/300B
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

・純水のみで高速洗浄します。

特長

・ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、エクスパンド）等々、あらゆる工程に対応可能
・専用ノズル追加によりブラシ洗浄時に界面活性剤（中性/弱アルカリ）を塗布可能
・オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能

主な仕様

ウェーハサイズ：〜φ６”：１５０Ｂ 　 〜φ８”：２００Ｂ　　 〜φ１２”：３００Ｂ
リングサイズ：〜φ６”：１５０Ｂ 　 〜φ８”：２００Ｂ　　 〜φ１２”：３００Ｂ
高速ＪＥＴ洗浄：〜100ｋｇ/㎠
ブラシ洗浄：ナイロン、ベルクリン（選択）
超音波洗浄：１.１ＭＨｚ
２流体洗浄：専用ノズル
ステージ回転数：３，０００ｒｐｍ
品種登録数：１０ｃｈ
洗浄ステップ：２０ステップ
マシンサイズ：６００(Ｗ)×５３０(Ｄ)×５４０(Ｈ)　※ＷＪＳ−１５０Ｂ