製品情報
小径ウエハー両面スクラブ洗浄機 DSC-100CV、DSC-200CV
| 製品名 | 小径ウエハー両面スクラブ洗浄機 |
|---|---|
| 型式 | DSC-100CV、DSC-200CV |
| メーカー | ダイトロン株式会社 |
| メーカーロゴ |  |
概要
【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】
小径ウェハーの研磨後洗浄等を目的とした装置です。 ウェハーをコンベアにより両面スクラブ機構部に搬送し、ウエハーを回転させながら両面ブラシ洗浄を行います。 純水リンスを経てアンローダーにて水没収納されます。
【対応デバイス】
素材：サファイア，Si,LT,LNx ／ ウエハサイズ：2.5,3,4,6,8インチ
特長
- 各種小径ウエハーサイズに対応可能。
- シンプルな槽構成。
- 研磨材除去 界面活性剤/高圧洗浄（オプション）。
- エッジドライブローラーによる低スクラッチ性実現。
- 小径ワーク タクト 30sec/枚。
※両面スクラブ洗浄時間 15sec/枚
主な仕様
| 型式 | DSC-100CV | DSC-200CV |
|---|---|---|
| 対応サイズ | φ（2）3、4インチ | φ（4）6、8インチ |
| 構成 | ローダー（WET） | ローダー（WET） |
| プレ洗浄部 | プレ洗浄部 | |
| 両面スクラブ洗浄部 | 両面スクラブ洗浄部 | |
| 界面活性剤供給 | 界面活性剤供給 | |
| CV搬送部 | CV搬送部 | |
| アンローダー（WET） | エアナイフ乾燥部（オプション） | |
| アンローダー（WET／DRY） |