製品情報

ウェーハ面検査装置　

製品名 ウェーハ面検査装置
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

本装置はφ300mmウェーハマクロ（照明）外観検査装置です。
ウェーハの外観のマクロ照明検査において、あらゆる角度と動きが可能な特殊ステージを持つ検査装置です。 オペレーターによるウェーハの観察を軽減・確実にします。完全エッジ・グリップ式ウェーハ搬送。ウェーハ表面・裏面に全く接触しません。

特長

・完全エッジ・グリップ式ウェーハ搬送。ウェハー表・裏面に全く接触しません。
・特殊ステージによるウェーハ自転・傾斜角度・θ角度・X-Yの動作が１ステージ上で可能(特許公開中)
・ウェーハ持替え無しでウェーハ表・裏同時検査が可能。(特許公開中)
・エッジ・グリップなのにウェーハ持ち替え無しでエッジ観察が可能。(特許公開中)
・22sec/１ウェーハの高スループット（検査時間含まず）
・プログラム検査モード可能
・Class-1　クリーンルーム対応
・ＡＧＶ対応可能（オプション）
・ＦＯＵＰ対応クリーンチャンバー対応可能（オプション）
・ローダーユニット内でのウェーハ移載モード装備（オプション）
・1〜6キャリア以上のローダー構成対応可能（オプション）