製品情報

検査・測定

検査・測定は20件あります。

ウェーハ形状測定器(端面形状測定機)セミオート/マニュアル機 WPM-150M、WPM-150S、WPM-200MN

ダイトロン株式会社

ウェーハ形状測定器(端面形状測定機)セミオート/マニュアル機

ウェーハの外周断面形状、ノッチ形状を高精度に測定する装置です。 【対象装置型式】 ・WPM-150M ・WPM-150S ・WPM-200MN

複合式検査装置 

複合式検査装置

各種ウェーハの表面欠陥検査をレーザーで高感度、高速で行い、欠陥箇所だけを高倍率画像で解析するレーザー+画像の複合式検査装置です。

ウェーハ厚さ測定機 TME-13型

株式会社ジャステム

ウェーハ厚さ測定機

半導体基板をカセットから取り出し設定したポイントの厚さ測定を行う装置です。

300mmウェーハ用顕微鏡ローダー 

ダイトロン株式会社

300mmウェーハ用顕微鏡ローダー

300mmウェーハの搬送機能を持つ顕微鏡検査システムです。

ウェーハ面検査装置 

ダイトロン株式会社

ウェーハ面検査装置

本装置はφ300mmウェーハマクロ(照明)外観検査装置です。ウェーハの外観のマクロ照明検査において、あらゆる角度と動きが可能な特殊ステージを持つ検査装置です。 ...

ディフェクト・レヴュー装置 

ダイトロン株式会社

ディフェクト・レヴュー装置

300mmウェーハを光学顕微鏡によりオペレーターが外観検査を行い、良品判定もしくは 欠陥分類判定を行うシステムです。ウェハの搬送はすべて自動で行われます。ゴミ検...

ウェーハ顕微鏡検査ステーション 

ダイトロン株式会社

ウェーハ顕微鏡検査ステーション

本装置は小型・デスクトップ型の顕微鏡検査ステーション装置です。 ローダーキャリアに収納されているウェーハを自動で 1 枚ずつ取り出し検査ステージに搬送し、顕微鏡...

マクロ検査顕微鏡装置 

ダイトロン株式会社

マクロ検査顕微鏡装置

・エッジハンドリングによるウェーハのマクロ・ミクロ検査装置です。 ・ウェーハ表面に接触する事無く、「ウェーハ裏面の顕微鏡検査」も可能です。

ボウ・ワープ測定装置 SBW Series

ボウ・ワープ測定装置

・本製品はウェーハのボウ・ワープを高速・高精度で測定します。・SBWシリーズは、スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュなど、あらゆるウェーハ加工プロセスで生じたボ...

ライフタイム測定装置 LTA Series

ライフタイム測定装置

本製品は、極薄SOI/エピ/バルクウェーハやポリシリコン層の汚染・欠陥評価に威力を発揮します。ライフタイムは、試料に混入した汚染や結晶欠陥等を鋭敏に反映する重要...

ターゲット断面試料作製システム 

ターゲット断面試料作製システム

本装置は、SEM、光学顕微鏡及びTEM観察用試料に向け、切断・研磨専用に開発された独自のターゲット断面作製装置です。

レイヤー断面・接合部観察 

レイヤー断面・接合部観察

【特徴】・複合試料の断面作製に最適・ターゲットを直接観察し加工・観察最高倍率 :184倍・最小送りピッチ : 0.5 um

シリコンウェーハエッジ検査装置1 

日本エレクトロセンサリデバイス株式会社

シリコンウェーハエッジ検査装置1

この装置は、NED独自のラインスキャンカメラのコンポーネントにより、 ウェーハ外周部に発生したクラック、カケ、キズ等の欠陥を検出します。 また、ユーザ...

エピウェーハ厚さ測定機 

エピウェーハ厚さ測定機

エピ膜付シリコンウェーハの厚さを非接触で 多点の厚さ測定ができます。 ※対象ウェーハ : φ200、φ300エピ膜付シリコンウェーハ

シリコンウェーハエッジ検査装置2 

日本エレクトロセンサリデバイス株式会社

シリコンウェーハエッジ検査装置2

ウェーハ端面のキズ・欠け・異物を検査します。 ※対象ワーク : φ200mm、300mmのSiウェーハ

平坦度測定器 

平坦度測定器

FT-17、FT-900 シリーズは、レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。半導体...

エッジプロファイルモニタ LEP-2200FE

エッジプロファイルモニタ

本製品は、独自の光学・画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状の高精度測定を実現しました。LEPシリーズは、ウェーハの面取形状、オリフラ長、直径、厚さ、あるい は...

段差計 

段差計

表面粗さ・うねり及び段差を測定します。

複合検査装置 

複合検査装置

・本測定機は、高精度・高分解能・優れた安定性を有する接触式微細形状測定機をベースに、白色干渉式検出器、レーザーオートフォーカス式検出器を一体化しました。 3種の...

厚さ測定機 

厚さ測定機

ED用ウェハーの厚みを測定する装置です。センサーのタイプをかえる事により、ウェハー単体、プレートに接着された状態等、様々な状態での測定が可能です。各種ニーズに合...

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