製品情報
ウェーハ露光装置（アライナー）
| 製品名 | ウェーハ露光装置（アライナー） |
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概要
ウェーハ上のレジストを（表面／裏面）露光します。
特長
・高感度ラインスキャンカメラによるウェーハ全周の微細な画像取り込み、保存が可能
・画像処理による欠陥候補抽出、欠陥判定
・保存画像による欠陥判定シミュレーション機能搭載
・高速画像処理による高スループット
・ファインイメージによる高いリピータビリティー
その他
φ２”～φ８” 各種サイズに対応致します
| 製品名 | ウェーハ露光装置（アライナー） |
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ウェーハ上のレジストを（表面／裏面）露光します。
・高感度ラインスキャンカメラによるウェーハ全周の微細な画像取り込み、保存が可能
・画像処理による欠陥候補抽出、欠陥判定
・保存画像による欠陥判定シミュレーション機能搭載
・高速画像処理による高スループット
・ファインイメージによる高いリピータビリティー
φ２”～φ８” 各種サイズに対応致します