製品情報

フォト

フォトは10件あります。

枚葉式リフトオフ装置 DNLO-120、DNLO-220

ダイトロン株式会社

枚葉式リフトオフ装置

本装置はウェハーを1枚ずつ薬液に浸漬させ、レジストを膨潤、および付着金属を剥離させます。 その後、リンス、置換、高圧スピン洗浄および乾燥を行いカセットに収納しま...

コーターベーク装置 

コーターベーク装置

マニュアル装置・自動搬送付きなどのバリエーションを取り揃えております。また、特注仕様もご相談に応じます。

ウェーハ露光装置(アライナー) 

ウェーハ露光装置(アライナー)

ウェーハ上のレジストを(表面/裏面)露光します。

ドライレジストフィルム貼付装置 

ドライレジストフィルム貼付装置

真空チャンバー内でウェーハ表面にフィルムを貼り付けます。

レチクルストッカー 

レチクルストッカー

・大量保管と集中保管を可能にした、スタンダードタイプです。・レチクル/マスクサイズを選ぶことなく、定位置検索を一括管理を行います。・設置場所に応じて、ストッカー...

表面・裏面重ね合せ精度測定装置 

表面・裏面重ね合せ精度測定装置

表面・裏面のアライメントマーク位置のズレを検出します。

スプレー塗布装置 

スプレー塗布装置

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布する為の装置です。 ノズルを交換することにより粒子をコントロールします。  ノズル先端の乾燥を防止する機構を持ちます。...

スプレーコーター1 

スプレーコーター1

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布します。  

コーターデベロッパー 

コーターデベロッパー

・本装置は、GaAs,GaP,サファイア等のウェーハを枚葉スピン方式にて、レジストのコーティング、エッチング、洗浄を行う装置です。・自動機、手動機の取り扱いがご...

UVカットコーター 

UVカットコーター

ガラス基板を回転させないスキャン方式を採用したシンプルな構造のコーティング装置。要求仕様や、材料に合わせたノズルと供給装置を提案します。粒子径と粒子飛行速度を個...

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