概要

本装置は300mmウェーハ対応はんだバンプ検査の最上位マシンです。高精度・広視野2D/3Dセンサを搭載し、300mmウェーハにおいて、16WPHの高速検査を実現しました。2D及び3D検査を同時に処理することで、検査時間を大幅に短縮し、最高のコストパフォーマンスをご提供します。

特長

・高さ繰り返し精度（3σ）1μm以下
・300mmウェーハで16WPH（2D/3D全バンプ対象）の高速検査
・200mmカセット、300mmFOUP対応フルオートマシン
・ロットサマリからチップレポートまで豊富な検査レポート出力機能
・高精度・広視野2D/3Dセンサ　NCS-6000α搭載

主な仕様

その他

検査項目と繰り返し精度（3σ）

※精度はメーカー標準サンプルでの計測値

本装置は、お客様のニーズに合わせたご提案が可能です。
・多様なNCSセンサシリーズ搭載
・フルオート/セミオート対応
・ウェーハサイズの選択
・ウェーハリング対応