製品情報

検査・測定

検査・測定は25件あります。

顕微鏡ローダー 

顕微鏡ローダー

半導体基板をカセットより取出し、ミクロ検査及びマクロ検査を行う装置です。ミクロ検査では、顕微鏡の接眼レンズとディスプレイで観察を切り替える事が可能です。マクロ検...

ウェーハ厚さ測定機 TME-13型

株式会社ジャステム

ウェーハ厚さ測定機

半導体基板をカセットから取り出し設定したポイントの厚さ測定を行う装置です。

IC外観検査マーキングシステム VIM-200

ダイトロン株式会社

IC外観検査マーキングシステム

・〜φ8”ウェーハ(ウェーハ単体、リング)の搬送機構を装備し、カセットより自動供給 ・マップファイルによるマークレス検査、良品チップのみの検査、サンプリング検査...

300mmウェーハ用顕微鏡ローダー 

ダイトロン株式会社

300mmウェーハ用顕微鏡ローダー

300mmウェーハの搬送機能を持つ顕微鏡検査システムです。

ウェーハ顕微鏡検査ステーション 

ダイトロン株式会社

ウェーハ顕微鏡検査ステーション

本装置は小型・デスクトップ型の顕微鏡検査ステーション装置です。 ローダーキャリアに収納されているウェーハを自動で 1 枚ずつ取り出し検査ステージに搬送し、顕微鏡...

マクロ検査顕微鏡装置 

ダイトロン株式会社

マクロ検査顕微鏡装置

・エッジハンドリングによるウェーハのマクロ・ミクロ検査装置です。 ・ウェーハ表面に接触する事無く、「ウェーハ裏面の顕微鏡検査」も可能です。

ボウ・ワープ測定装置 SBW Series

ボウ・ワープ測定装置

・本製品はウェーハのボウ・ワープを高速・高精度で測定します。・SBWシリーズは、スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュなど、あらゆるウェーハ加工プロセスで生じたボ...

ライフタイム測定装置 LTA Series

ライフタイム測定装置

本製品は、極薄SOI/エピ/バルクウェーハやポリシリコン層の汚染・欠陥評価に威力を発揮します。ライフタイムは、試料に混入した汚染や結晶欠陥等を鋭敏に反映する重要...

ターゲット断面試料作製システム 

ターゲット断面試料作製システム

本装置は、SEM、光学顕微鏡及びTEM観察用試料に向け、切断・研磨専用に開発された独自のターゲット断面作製装置です。

レイヤー断面・接合部観察 

レイヤー断面・接合部観察

【特徴】・複合試料の断面作製に最適・ターゲットを直接観察し加工・観察最高倍率 :184倍・最小送りピッチ : 0.5 um

シリコンウェーハエッジ検査装置1 

日本エレクトロセンサリデバイス株式会社

シリコンウェーハエッジ検査装置1

この装置は、NED独自のラインスキャンカメラのコンポーネントにより、 ウェーハ外周部に発生したクラック、カケ、キズ等の欠陥を検出します。 また、ユーザ...

MEMSウェーハ厚み・段差測定機 

MEMSウェーハ厚み・段差測定機

本装置は、Si段差加工されたMEMS用Siウェーハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動で行う装置です。

膜厚分布検査装置 

膜厚分布検査装置

膜厚分布測定装置は最大150万点の膜厚分布を短時間に測定できる装置です。イメージング分光器ImSpector(インスペクター)を用いて、測定対象表面の薄膜の分光...

平坦度測定器 

平坦度測定器

FT-17、FT-900 シリーズは、レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。半導体...

エッジプロファイルモニタ LEP-2200FE

エッジプロファイルモニタ

本製品は、独自の光学・画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状の高精度測定を実現しました。LEPシリーズは、ウェーハの面取形状、オリフラ長、直径、厚さ、あるい は...

BG後ウェーハ厚み測定装置 

BG後ウェーハ厚み測定装置

バックグラインダー後のウェーハを非接触で多点の厚さ測定をします。 ※対象ウェーハ : φ200、φ300BG後のシリコンウェーハ

3次元外観検査装置 

3次元外観検査装置

多種多様な製品の高さ・表面形状を高速/高精度に測定・検査する装置です。

ICパッケージ基板バンプ検査装置 

ICパッケージ基板バンプ検査装置

個片状態のサブストレートバンプを高速/高精度に検査するCVIシリーズに、給排機装置をドッキングした全自動バンプ検査装置です。検査後、PASS品/NG品は仕分けら...

ウェーハバンプ検査装置 

ウェーハバンプ検査装置

本装置は300mmウェーハ対応はんだバンプ検査の最上位マシンです。高精度・広視野2D/3Dセンサを搭載し、300mmウェーハにおいて、16WPHの高速検査を実現...

段差計 

段差計

表面粗さ・うねり及び段差を測定します。

圧力解析装置 

圧力解析装置

デジタルカメラにてプレスケールを画像解析します。

MEMS応力観察装置 

MEMS応力観察装置

本装置は、従来、CAE による解析しかできなかったMEMS 製品の応力分布(熱弾性応力)を非接触かつ短時間に可視化できる装置です。 高性能な赤外線カメラを用いて...

ウェーハ外観検査装置 

ウェーハ外観検査装置

本装置は、Siウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。

複合検査装置 

複合検査装置

・本測定機は、高精度・高分解能・優れた安定性を有する接触式微細形状測定機をベースに、白色干渉式検出器、レーザーオートフォーカス式検出器を一体化しました。 3種の...

厚さ測定機 

厚さ測定機

ED用ウェハーの厚みを測定する装置です。センサーのタイプをかえる事により、ウェハー単体、プレートに接着された状態等、様々な状態での測定が可能です。各種ニーズに合...

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