製品情報

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機 

製品名 ウェーハ裏面ブラシ洗浄機

概要

ウェーハの裏面をブラシで洗浄し、リンス〜スピン乾燥する手動洗浄機です。
ウェーハをチャック治具にセットした後、洗浄ブラシがウェーハ裏面を洗浄し、リンス後、乾燥処理までを行います。
ウェーハのチャック治具はウェーハの表面には接触せず、裏面洗浄時、洗浄液がウェーハ表面側に回り込む事もありません。
洗浄後、ウェーハ裏面にエアを吹き付け、チャックがスピン回転する事により裏面乾燥します。
洗浄〜乾燥までの各動作はタッチパネルから自由度のあるレシピ設定が可能です。
洗浄ツールはブラシ以外でも、超音波、2流体など、各種オプションに対応致します。