製品情報

洗浄

洗浄は12件あります。

裏面研削後枚葉裏面エッチャー 

裏面研削後枚葉裏面エッチャー

バックグラインダー後の裏面加工歪みを除去します。

異方性エッチング装置(KOH・TMAH) 

異方性エッチング装置(KOH・TMAH)

Si基板(1.0.0)を、KOHで垂直に深堀します。

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機 

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機

ウェーハの裏面をブラシで洗浄し、リンス〜スピン乾燥する手動洗浄機です。ウェーハをチャック治具にセットした後、洗浄ブラシがウェーハ裏面を洗浄し、リンス後、乾燥処理...

オートマチックウェーハスクラバー AWS-200

ダイトロン株式会社

オートマチックウェーハスクラバー

WJS−150の洗浄機構に搬送ロボットを加えた自動ウェーハ洗浄機です。 ローダーカセットに収納されたウェーハを下段より一枚づつ搬送用ロボットにて取り出し、ウェー...

ウェーハジェットスクラバー WJS-150B/200B/300B

ダイトロン株式会社

ウェーハジェットスクラバー

・純水のみで高速洗浄します。

超臨界洗浄乾燥装置 

超臨界洗浄乾燥装置

MEMSデバイスの洗浄乾燥の場合、従来からの洗浄乾燥方法ではリンス液の表面張力によって近接したパターンの倒壊や、構造部の変形・破壊が避けられないものがあります。...

WET装置 

WET装置

ウェーハの拡散前洗浄、シリコン酸化膜・窒化膜エッチング、 レジスト剥離などの処理を行うウェットステーションシリーズを提供しています。 カスタマー対応できます。

高照度エキシマランプ 

高照度エキシマランプ

172μmの高い光エネルギー(真空紫外光)で改質し、親水性・接着性・濡れ性を向上します。

スピン洗浄機 

スピン洗浄機

多様なチャンバー構成を実現

自動洗浄装置・各種ドラフト 

自動洗浄装置・各種ドラフト

基板の洗浄を純水や洗剤を使用して行います。

RCA洗浄装置 

RCA洗浄装置

酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。

自動搬送付き洗浄機 

自動搬送付き洗浄機

・GaAs,GaP,サファイア等のLEDウェーハをプロセス上、洗浄又はエッチングを自動搬送にてを行う装置です。・各種手動又は半自動の装置も取り扱いがございます。

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