製品情報
ウェーハ外観検査装置
| 製品名 | ウェーハ外観検査装置 |
|---|
概要
本装置は、Siウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
特長
・マクロ検査では、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き、水平回転操作を行うことで、ウェーハ表裏面の検査が可能
・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能
・ミクロ検査結果は、ファイルに保存
・顕微鏡搭載のカメラ画像をPCに保存
・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納は、ウェーハの移載ロボットによる自動搬送で実施
・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ 式ハンドを採用し、薄くソリのあるウェーハの搬送にも対応可能
・FFU（PTFE仕様）搭載、オールステンレスフレーム採用により、高クリーン環境に対応可能
・工場HOSTとの通信対応も可能
主な仕様
| 基本仕様 | |
| 対象ワークサイズ | お打ち合わせによる |
| 検査方法 | 白色LED照明によるマクロ検査・顕微鏡によるミクロ検査 |
| 顕微鏡仕様 | 対物レンズ：5/10/20/50/100倍 |
| 明視野/暗視野切り替え | |
| オートフォーカス機能 | |
| 1728万画素デジタルカメラ付き（画像はPCに保存可能） | |
| クリーン度 | クラス100対応 |
| 機械仕様 | |
| 機械寸法 | 1,850（W）×1,800（D）×2,400（H） |
| （φ200mmウェーハ・2カセット仕様） | |
| 機械重量 | 約450kg |
| ユーティリティ | |
| 電源 | AC 三相 200v |
| 圧空 | 0.5MPa |
| N2 | 0.5MPa 100L/min. 以上 |
| 真空 | -50KPa |
※詳細はお問い合わせください