製品情報
IC外観検査マーキングシステム VIM-200
| 製品名 | IC外観検査マーキングシステム |
|---|---|
| 型式 | VIM-200 |
| メーカー | ダイトロン株式会社 |
| メーカーロゴ |  |
概要
・〜φ８”ウェーハ（ウェーハ単体、リング）の搬送機構を装備し、カセットより自動供給
・マップファイルによるマークレス検査、良品チップのみの検査、サンプリング検査など様々な検査モードに対応
・外観検査の結果をマップファイルに書き込み
・工場内通信にも対応可能
主な仕様
ウェーハサイズ：〜φ８”
金属顕微鏡：リモートコントロール
ＮＧ分類数：２０分類
カウンター：画面表示
工場内通信：ＳＥＣＳ−Ⅱ 対応
良否の判定：オペレーター