製品情報

スプレーコーター2　

製品名	スプレーコーター2

概要

ガラス基板を回転させないスキャン方式を採用したシンプルな構造のコーティング装置。
要求仕様や、材料に合わせたノズルと供給装置を提案します。
粒子径と粒子飛行速度を個別に制御して適切な塗膜を形成する技術、より均一な微粒化を低圧でできる技術、材料を連続安定供給する技術、それらを組み合わせることにより、ナノレベルの超薄膜から数μmレベルまでの膜厚形成を実現しています。

特長

・１μmの膜厚条件で±２〜３％の膜厚精度
・ナノレベルの超薄膜、数十ナノレベルの薄膜、数μmレベルの膜に対応
・材料供給は用途に応じてギア式、ダブルシリンジ式のポンプを選択でき、安定した供給が可能

その他

【用途例】
・機能膜
　FPD用蛍光・発光・スラリー・電極・保護膜
・太陽電池
　酸化チタン・酸化亜鉛・保護膜・防汚膜・光線透過率向上膜・変換効率向上膜・機能膜・反射防止膜
・電池
　2次電池・燃料電池
・その他
　フッ素・光触媒・凹凸基板・小型パネル・大型パネル・次世代ディスプレイ・MEMS