製品情報

スプレーコーター1　

製品名	スプレーコーター1

概要

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布します。

特長

・膜厚： 2μm〜50μm （ウェット）　500Å〜100μm　（ドライ）
・塗布性能：φ2〜30mmの小領域、0.1cc/minの少量塗布も可能
・粒子のコントロール方法；ガンの交換

その他

【装置機能】
・XY2軸ロボットによりプログラムしたパターンでコーティングが可能
【塗着効率】
・60%〜90%（塗布材料や条件により異なります）
【オプション】
・ワークの吸着用真空ポンプ
・ワークステージの加熱（〜65℃）装置
・スラリー材料の自動循環装置