製品情報

スプレーコーター1 

製品名 スプレーコーター1

概要

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布します。

 

特長

・ 膜厚 : 2μm〜50μm (ウェット) 500Å〜100μm (ドライ)
・ 塗布性能:φ2〜30mmの小領域、0.1cc/minの少量塗布も可能
・ 粒子のコントロール方法;ガンの交換

 

その他

【装置機能】
・XY2軸ロボットによりプログラムしたパターンでコーティングが可能
【塗着効率】
・60%〜90%(塗布材料や条件により異なります)
【オプション】
・ワークの吸着用真空ポンプ
・ワークステージの加熱(〜65℃)装置
・スラリー材料の自動循環装置