製品情報

シリコンウェーハエッジ検査装置2　

製品名	シリコンウェーハエッジ検査装置2

概要

ウェーハ端面のキズ・欠け・異物を検査します。
※対象ワーク　：　φ200mm、300mmのSiウェーハ

特長

・高感度ラインスキャンカメラによるウェーハ全周の微細な画像取り込み、保存が可能
・画像処理による欠陥候補抽出、欠陥判定
・保存画像による欠陥判定シミュレーション機能搭載
・高速画像処理による高スループット
・ファインイメージによる高いリピータビリティー