製品情報

シリコンウェーハエッジ検査装置1　

製品名	シリコンウェーハエッジ検査装置1

概要

この装置は、独自のラインスキャンカメラのコンポーネントにより、ウェーハ外周部に発生したクラック、カケ、キズ等の欠陥を検出します。
また、ユーザーが設定する判定パラメーターに基づき合否判定を行い、全ての欠陥データを表示、記録する事が出来ます。

※対象ワーク：φ200mm、300mmのSiウェーハ

特長

・高感度ラインスキャンカメラによりウェーハ全周の微細な画像を取り込み、保存が可能。
・画像処理による欠陥候補抽出、欠陥判定
・保存画像による欠陥判定シミュレーション機能搭載
・高速画像処理による高スループット
・ファインイメージによる高いリピータビリティー