製品情報

シリコンウェーハエッジ検査装置1 

製品名 シリコンウェーハエッジ検査装置1
メーカー 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社
メーカーロゴ

概要

この装置は、NED独自のラインスキャンカメラのコンポーネントにより、 ウェーハ外周部に発生したクラック、カケ、キズ等の欠陥を検出します。 
また、ユーザーが設定する判定パラメーターに基づき合否判定を行い、全ての欠陥データを表示、記録する事が出来ます。

※対象ワーク:φ200mm、300mmのSiウェーハ 

特長

・高感度ラインスキャンカメラによりウェーハ全周の微細な画像を取り込み、保存が可能。
・画像処理による欠陥候補抽出、欠陥判定
・保存画像による欠陥判定シミュレーション機能搭載
・高速画像処理による高スループット
・ファインイメージによる高いリピータビリティー