製品情報

シート抵抗測定検査装置 

製品名 シート抵抗測定検査装置

概要

LED用ウェハーに対し、シート抵抗/抵抗率を測定する装置です。
手動タイプから全自動タイプまでラインナップしております。
センサーは、接触式/非接触式の両タイプラインナップしております。(4探針方式・渦電流方式)