製品情報

ボウ・ワープ測定装置　SBW Series

製品名 ボウ・ワープ測定装置
型式 SBW Series

概要

・本製品はウェーハのボウ・ワープを高速・高精度で測定します。
・SBWシリーズは、スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュなど、あらゆるウェーハ加工プロセスで生じたボウ・ワープやGBIRを、高速・高精度に測定します。

特長

・独自の形状測定技術と自重補正法の採用により、高精度測定を実現
・スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュ等、あらゆるウェーハの加工工程で使用可能
・高精細の測定が可能
・ボウ・ワープ算出のための基準面として、ウェーハ裏面と厚さ中心面の選択が可能
・測定面は、ウェーハ裏面、厚さ中心面、表面から選択可能
・厚さやGBIR（TTV）の測定が可能
・大口径450mmウェーハに対応可能
・形状マップ、厚さマップを2次元、3次元（カラー）で表示
・指定ライン上の断面形状を表示可能
・小型で低価格です。

主な仕様

【用途】
・スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュなど、ウェーハ加工プロセスの工程管理、出荷検査