製品情報

スピンエッチング装置　KE-200NP1

製品名	スピンエッチング装置
型式	KE-200NP1

概要

ウエハをスピンテーブルに人手でセットし、スプレーエッチング、リンス、スピン乾燥と処理を行うマニュアル式スピンエッチング装置です。対応ワークサイズは最大φ8インチでチャック交換によりφ2～6インチやフォトマスクなどの角基板にも対応可能です。

■基板表面をスプレーエッチングします。
■スプレーエッチングとパドルエッチング両対応です。
■エッチング液の温調機能も付けられます。
■自動搬送機構付き(CtoC)モデルもあります。
■2流体洗浄やメガソニック洗浄機能も追加出来ます。

■寸法　幅750㎜×奥行1200㎜×高さ1800㎜
■電子冷熱器による温調機能付き
■回転数　2000rpm
■100レシピ　60ステップ
■エラーログ、運転ログ付

オプションでエッチング液の自動調合機能やメタルの回収、廃液の回収システムも付けられます。
Φ300mm対応モデルもあります。