製品情報

フォト

フォトは8件あります。

コーターベーク装置 

コーターベーク装置

マニュアル装置・自動搬送付きなどのバリエーションを取り揃えております。また、特注仕様もご相談に応じます。

ウェーハ露光装置(アライナー) 

ウェーハ露光装置(アライナー)

ウェーハ上のレジストを(表面/裏面)露光します。

ドライレジストフィルム貼付装置 

ドライレジストフィルム貼付装置

真空チャンバー内でウェーハ表面にフィルムを貼り付けます。

レチクルストッカー 

レチクルストッカー

・大量保管と集中保管を可能にした、スタンダードタイプです。・レチクル/マスクサイズを選ぶことなく、定位置検索を一括管理を行います。・設置場所に応じて、ストッカー...

表面・裏面重ね合せ精度測定装置 

表面・裏面重ね合せ精度測定装置

表面・裏面のアライメントマーク位置のズレを検出します。

スプレー塗布装置 

スプレー塗布装置

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布する為の装置です。 ノズルを交換することにより粒子をコントロールします。  ノズル先端の乾燥を防止する機構を持ちます。...

スプレーコーター1 

スプレーコーター1

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布します。  

コーターデベロッパー 

コーターデベロッパー

・本装置は、GaAs,GaP,サファイア等のウェーハを枚葉スピン方式にて、レジストのコーティング、エッチング、洗浄を行う装置です。・自動機、手動機の取り扱いがご...

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