概要

ウエハをスピンテーブルに人手でセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥と処理を行うマニュアル式スピン現像装置です。

対応ワークサイズは最大φ8インチでチャック交換によりφ2～6インチやフォトマスクなどの角基板にも対応可能です。

特長

■基板表面をスプレー現像します。
■スプレー現像とパドル現像　両対応です。
■現像液の温調機能も付けられます。
■自動搬送機構付き(CtoC)モデルもあります。
■2流体洗浄やメガソニック洗浄機能も追加出来ます。

主な仕様

■寸法　幅750㎜×奥行1200㎜×高さ1800㎜
■電子冷熱器による温調機能付き
■回転数　2000rpm
■100レシピ　60ステップ
■エラーログ、運転ログ付

その他

ｱﾙｶﾘ現像タイプと有機溶剤現像タイプの2種類あります。有機溶剤現像タイプの場合、自動消火システムも付けられます。
Φ300㎜対応モデルもあります。