製品情報

ターゲット断面試料作製システム 

製品名 ターゲット断面試料作製システム
資料

概要

本装置は、SEM、光学顕微鏡及びTEM観察用試料に向け、切断・研磨専用に開発された独自のターゲット断面作製装置です。

特長

・観察システム一体型
 微小ターゲットの正確な配置と調製
 高性能実体顕微鏡による観察
 多機能、セミ・オート機械式システムによる処理
 断面の鏡面研磨行程は、自動制御により行うことが可能

・多彩な処理
 ドライ・ミリング/切断/研削/研磨

・自動工程制御機能搭載

・動画もご覧いただけます。詳しくはこちらから(You Tube)

その他

【アプリケーション】
・落射型光学顕微鏡とSEMのための断面試料作製
・透過型光学顕微鏡神作、またはTEM観察に向けたイオンシニングのための前処理としてのサンプル薄膜化作製