製品情報

顕微鏡ローダー 

製品名 顕微鏡ローダー

概要

半導体基板をカセットより取出し、ミクロ検査及びマクロ検査を行う装置です。
ミクロ検査では、顕微鏡の接眼レンズとディスプレイで観察を切り替える事が可能です。
マクロ検査では、ジョイスティックによりウエハ傾きを自在に操作できます。

特長

(1)搬送方法:マッピング機能付き4軸水平多軸ツインアームロボット
(2)測定位置:付属PCによる多点レシピ検査
(3)タクト:Total 104sec/枚
(4)カセットステージ数:1個(SMIFも可能)  着座、識別センサ付き
(5)アライメント:光学センサ(精度±0.1mm、±0.1°)
(6)付属機器:イオナイザ
(7)マクロ検査:θ軸+あおり軸、反転機能、LED照明
(8)測定ステージ:マクロ検査)ベルヌーイ、反転吸着ハンド ミクロ検査) ポーラスチャック
(9)データ保存:ユーザー専用フォーマット

主な仕様

(1)ワーク:半導体基板
(2)ワーク搬送保持:ベルヌーイ
(3)ワークサイズ:φ8インチ
(4)ワーク厚さ:100〜1,000μm (そり最大13mmまで可能)
(5)装置寸法:W1,650×D1,110×H1,357(mm)
(6)装置重量:約450kg
(7)ユーティリティ
       電源:単相100V
       圧空:0.5MPa 以上
       真空:真空ポンプ

その他

・導入事例:
  顕微鏡に自動搬送を設けたい 
・検討可能
  HOST通信、対物2.5×、真空ポンプ排気、
  搬送方法、カセットステージ数、
  ワークサイズ等