製品情報

マクロ検査顕微鏡装置　

概要

・エッジハンドリングによるウェーハのマクロ・ミクロ検査装置です。
・ウェーハ表面に接触する事無く、「ウェーハ裏面の顕微鏡検査」も可能です。

・オール・エッジハンドリングによる非接触検査が可能
・「マクロ検査（エッジハンドリング）」主体検査が可能
・「裏面（ミクロ・マクロ）検査」が可能
・〜φ 8 まで重量級ウェハのハンドリングも可能