製品情報
ウェーハ片面ポリッシングマシン LSP-19A
| 製品名 | ウェーハ片面ポリッシングマシン |
|---|---|
| 型式 | LSP-19A |
概要
サファイア、SiC等の加工に最適！
フレームにモノコック型を採用！
強度と耐震性を向上！
本装置は、ウェーハの片面を研磨加工する装置です。
・装置本体の省スペース化を実現
・トップリング軸強制駆動付
・トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能
・研磨荷重は精密エア加圧方式
・外周ガイドレス化
特長
・センターガイドの脱着容易化
・トップリング強制駆動軸の高剛性化
・研磨クロスの交換容易化
主な仕様
| 基本仕様 | |
| 装置寸法 | （W）1,925×（D）1,300×（H）2,210（mm） |
| 装置重量 | 約5,000kg |
| 加工プレートサイズ | φ485×t17（mm） |
| 加工ステーション ：4ステーション | |
| 強制駆動モータ | 0.75（kW）/1軸 |
| 回転数 | MAX50（rpm） |
| トップリング部 | |
| 外径 | φ505（mm） |
| 圧力制御 | エア加圧方式 |
| 加圧シリンダ | φ125×220ストローク（mm） |
| 荷重 | MAX500（kgf）/1軸 |
| 定盤部 | |
| 寸法 | φ1230（mm） |
| 定盤駆動モータ | 22（kW） |
| 定盤回転数 | MAX50（rpm） |
※仕様・付属品などは、機械の改良にともない、予告なく変更する事があります。
その他
【オプション対応機構】
・スラリー冷却用熱交換機
・スラリータンク