製品情報

ウェーハ片面ラッピングマシン LSL-19A

製品名 ウェーハ片面ラッピングマシン
型式 LSL-19A

概要

サファイア、SiC等の加工に最適!
フレームにモノコック型を採用!
強度と耐震性を向上! 

本装置は、ウェーハの片面を研磨加工する装置です。
・装置本体の省スペース化を実現
・トップリング軸強制駆動付
・トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能
・研磨荷重は精密エア加圧方式
・外周ガイドレス化 

特長

・センターガイドの脱着容易化
・トップリング強制駆動軸の高剛性化
・研磨クロスの交換容易化 

主な仕様

基本仕様 
 装置寸法 (W)1,925×(D)1,300×(H)2,210(mm)
 装置重量 約5,000kg
 加工プレートサイズ φ485×t17(mm)
加工ステーション :4ステーション
 強制駆動モータ 0.75(kW)/1軸
 回転数 MAX50(rpm)
トップリング部 
 外径 φ505(mm)
 圧力制御 エア加圧方式
 加圧シリンダ φ125×220ストローク(mm)
 荷重 MAX500(kgf)/1軸
定盤部 
 寸法 φ1230(mm)
 定盤駆動モータ 22(kW)
 定盤回転数 MAX50(rpm)

※仕様・付属品などは、機械の改良にともない、予告なく変更する事があります。

その他

【オプション対応機構】
・スラリー冷却用熱交換機
・スラリータンク