製品情報
ウェーハ片面ラッピングマシン LSL-19A
製品名 | ウェーハ片面ラッピングマシン |
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型式 | LSL-19A |
概要
サファイア、SiC等の加工に最適!
フレームにモノコック型を採用!
強度と耐震性を向上!
本装置は、ウェーハの片面を研磨加工する装置です。
・装置本体の省スペース化を実現
・トップリング軸強制駆動付
・トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能
・研磨荷重は精密エア加圧方式
・外周ガイドレス化
特長
・センターガイドの脱着容易化
・トップリング強制駆動軸の高剛性化
・研磨クロスの交換容易化
主な仕様
基本仕様 | |
装置寸法 | (W)1,925×(D)1,300×(H)2,210(mm) |
装置重量 | 約5,000kg |
加工プレートサイズ | φ485×t17(mm) |
加工ステーション :4ステーション | |
強制駆動モータ | 0.75(kW)/1軸 |
回転数 | MAX50(rpm) |
トップリング部 | |
外径 | φ505(mm) |
圧力制御 | エア加圧方式 |
加圧シリンダ | φ125×220ストローク(mm) |
荷重 | MAX500(kgf)/1軸 |
定盤部 | |
寸法 | φ1230(mm) |
定盤駆動モータ | 22(kW) |
定盤回転数 | MAX50(rpm) |
※仕様・付属品などは、機械の改良にともない、予告なく変更する事があります。
その他
【オプション対応機構】
・スラリー冷却用熱交換機
・スラリータンク