製品情報

エッジプロファイルモニタ LEP-2200FE

製品名 エッジプロファイルモニタ
型式 LEP-2200FE

概要

本製品は、独自の光学・画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状の高精度測定を実現しました。
LEPシリーズは、ウェーハの面取形状、オリフラ長、直径、厚さ、あるい はノッチ形状などを、非接触で自動測定します。

特長

・面取りの角度と幅は、それぞれ独立したアルゴリズムで解析するため、高精度の計測が可能
・オリフラ、ノッチを自動検出し、位置合わせの自動化を実現
・形状毎に10種類の測定レシピを記憶可能
・測定点を、オリフラ(ノッチ)からの角度で任意に設定可能
・測定対象に応じて、測定長の判断基準を切り換え可能
・オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定・選別が可能
・エッジ形状の一覧表示(9点)が可能
・フルエッジハンドリング・FFUを搭載する事により、クリーンな搬送を実現
・出荷製品に対する検査も実施可能

その他

【用途】
・エッジ加工直後の品質確認
・出荷検査、加工機の性能確認 等

【オプション機能】
・直径精密測定機能
−直径分布再現性σ ≦ 0.5μm
−最大及び最小直径とその方向を出力します。
−直径分布図を出力します。
・貼合せウェーハのズレ測定機能
−中心ズレ量の計測が可能です。
−計測再現性: σ ≦ 1um (X/Y方向)
・ノッチ部面幅測定機能
−ウェーハ表裏面同時測定
−ノッチ底部及び側面部3点測定
−繰り返し再現性:σ≦1μm(ノッチ底部)
※ウェーハの表面加工状態についてご相談下さい。