製品情報

イオンビームミリング装置　

製品名 イオンビームミリング装置
資料

概要

本装置は、、1 台の卓上型装置でTEM、SEM、および光学顕微鏡の試料を作製できます。また、ライカEM RES101 は、高エネルギーのミリングだけでなく、低いイオンエネルギーできわめて繊細な試料の処理にも使用できます。

特長

TEM の試料
・小さい角度での片面または両面のミリングにより、素材の均一なイオンミリングが可能
・FIB 試料を低エネルギーでクリーニングすることで表面領域の損傷を軽減

SEM および光学顕微鏡の試料
・粗い表面の研磨
・汚染された試料の表面のクリーニング、あるいは機械磨後のダメージ層の除去
・化学的エッチングに代わる試料表面のコントラストの強調
・層構造を持つ素材を35°の角度で切断
・構造化された半導体材料やパッケージングを90°の角度で切断