製品情報
高精度フェーシング付 片面研磨機
製品名 | 高精度フェーシング付 片面研磨機 |
---|
概要
本装置は、ウェーハの片面をラッピング加工する装置です。
高精度定盤フェーシング装置と、エア加圧方式のトップリングを標準装備し、サファイア、SiC加工への最適化を実現します。
トップリングの強制駆動、揺動機能に加え、コンディショニングをインプロセス化することで、研磨条件を安定化します。
特長
・高精度フェーシング装置により、定盤精度を10μm以下維持、容易に修正可能
・溝入れ加工可能
・トップリング中押し機能(オプション)によりセラミックプレート内のウェーハの形状コントロールが可能
・コンディショニング専用ステーションを設け、インプロセスでのコンディショニング可能
・定盤冷却機能
・φ2〜6インチウェーハ加工に最適