製品情報

300mmウェーハ用顕微鏡ローダー　

製品名 300mmウェーハ用顕微鏡ローダー
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

300mmｳｪｰﾊの搬送機能を持つ顕微鏡検査システムです。

特長

・ローダー（ＦＯＳＢもしくはオープンキャリア）に収納されているウェーハを自動で1枚ずつ取り出し、 顕微鏡ステージに搬送
・オペレーターがウェーハを判定
・検査終了したウェーハは、キャリアの元の段に自動で戻す、又は アンローダー（ＦＯＳＢもしくはオープンキャリア）側へ収納可能
・アンローダーポートを利用し、キャリア移載機としても使用可能
・オプションでマクロ検査機構、ノッチアライメント機構、ライブモニタ機構などの仕様も選択可能
・ウェーハ専用ＩＤリーダーを搭載し、検査するウェーハＩＤを読取り管理可能