製品情報
表面・裏面重ね合せ精度測定装置
| 製品名 | 表面・裏面重ね合せ精度測定装置 |
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概要
表面・裏面のアライメントマーク位置のズレを検出します。
特長
・表裏面のCCDカメラ（分解能 1 μm）が、マークを光学認識
・繰り返し精度： 3σ Top-Top 0.3μ m, Top-Bottom 1 μｍ 以下
・Tis （測定誤差）補正機能有り
| 製品名 | 表面・裏面重ね合せ精度測定装置 |
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表面・裏面のアライメントマーク位置のズレを検出します。
・表裏面のCCDカメラ（分解能 1 μm）が、マークを光学認識
・繰り返し精度： 3σ Top-Top 0.3μ m, Top-Bottom 1 μｍ 以下
・Tis （測定誤差）補正機能有り