製品情報
平坦度測定器
| 製品名 | 平坦度測定器 |
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概要
FT-17、FT-900 シリーズは、レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。
半導体ウェーハ（GaN、SiC、サファイア）などの研究開発、量産ラインで品質向上のために活躍します。
特長
（1）ウェーハ（シリコン、化合物、酸化物、ガラス）、金属片、ディスク（アルミ、ガラス）、機械部品等のサンプル測定が可能
（2）多重干渉縞に対応した弊社独自の位相シフト解析
（3）透明体サンプル測定時の裏面干渉を低減させる独自の干渉性調整機構を搭載
（4）お客様によるキャリブレーションが不要
（5）透明体サンプル用として裏面干渉縞（厚さむら）を高精度に解析することが可能※1
（6）専用解析装置はオペレーティングシステムWindows7 に対応※2
（7）豊富なオプション群
主な仕様
| FT-17シリーズ | FT-900シリーズ | ||
| 解析無 | 解析つき | 解析つき | |
| 測定方法 | 光波干渉方式（斜入射） | ||
| 光源 | 半導体レーザー （655nm、3mW） |
He-Neレーザ （632.8nm、5mW） |
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| サンプルサイズ | φ130mm以下 但し平坦度測定はφ100mm以下 |
φ200mm以下 | |
| サンプル厚さ | 10mm以下（平坦度測定は、250μｍ〜2000μm以下） その他厚さは別途ご相談下さい |
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| サンプル種類 | ウェーハ（シリコン・化合物・酸化物・ガラス） | ||
| 金属片、ディスク（アルミ・ガラス※FT-900はディスク非対応）、マスク | |||
| 任意形状サンプル等の鏡面及び非鏡面（反射率の低い非鏡面は除く） | |||
| サンプル斜傾角度 | 垂直より手前に8度傾斜 | 垂直又は垂直より手前に 8度傾斜 |
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| 干渉計設定感度 | 1.2.3.4.5μm/縞 （但し、下面基準の場合は、1.2μm/縞のみ。3μm/縞 は参考） |
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| ※厚さ1mm以上の下面基準の場合は、1μm/縞のみ | |||
| 裏面干渉設定感度 | - | サンプルの材質により感度 が変わります。 例：石英 約0.275μm/縞 |
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| 測定範囲 | 縞感度の30倍 （縞の状況、ズームサイズなどにより30倍以下の場合あり） |
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| 撮影系ズーム比 | 3倍以上（マニュアルズーム） | 3倍以上（電動ズーム） | |
| 表示分解能 | - | 0.01μm | |
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繰り返し精度 Repeatablity：1δ |
- | 0.02S+0.02M（μm） Sは縞感度（μm）Mは測定値 （μm） | |
| - | 条件：サンプルを同一セッティングでの連続測定 | ||
| 有効画素数 | - | 640×480画素 | |
| 測定時間（※1） | - | 15秒以下 | 15秒以下 裏面干渉同時測定時 50秒以下 |
| 測定領域（※2） | - | 外周0.1mmから0.01mm Stepで設定可能 |
外周0.1mmから0.01mm Stepで設定可能 裏面干渉測定は厚さ2倍 以上から0.01mm単位 |
| 本体寸法（mm） ※突起部除く |
521(W)×485(D)×438（H) | 720(W)×920(D)×514（H) | |
| 電源 | AC100V±10% 50/60Hz 3Pプラグ付コード（2.4m） | ||
| 500VA （FT-17本体約50VA） |
600VA （FT-900本体約100VA） |
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| 真空源 | -80× 103 PA以下 20R/min 1/4inchチューブ接続 | ||
| 構成 | 干渉計 本体 | 干渉計本体+解析装置 （PC本体・PC用モニター〔15inch液晶〕、標準ソフト1種類 DVD±R/RW、レシピ化ソフト、左右反転ソフト、再計算ソフト 干渉縞観察用モニター） |
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| 使用環境 （周囲温度、湿度） |
23±3℃ 50±20%RH（ただし結露なきこと） | ||
| 重量 | 干渉計 本体 約90kg |
干渉計本体 約90kg 解析装置 約30kg |
干渉計本体 （コントローラ含む）約140kg 解析装置 約30kg |
| 干渉縞解析ソフト（※3） | |||
| ・表示機能 | - | 干渉縞 鳥瞰図 等高線図 断面図 測定結果 測定条件 マップデータ 等 |
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| ・ウェーハ用 | - |
SEM準拠（TV GBIR GFLR GF3D SORI BOW Taper） |
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| ・ウェーハ用OP | - | ステッパーシュミレーション ストレス解析 | |
| ・ディスク用 | - | P-V RMS TIR VEL ACC（FT-17のみ対応） | |
| ・角型用 | - | P-V RMS P-VB RMSB（FT-900のみ対応） | |
| ・角型用OP | - | GBIR ストレス解析 | |
| ・共通OP | - | 任意エリアソフト（任意形状測定には非対応） | |
| ・任意形状サンプル用 | - | 任意形状ソフト P-V RMS | |
※1 Windowsベース・グラフィック表示なし
※2 条件によっては設定された領域での測定が不可能な場合あり
※3 標準ソフトは、ウェーハ用・ディスク用・角型用のいずれか一つ
その他は追加オプションとなります。