概要

膜厚分布測定装置は最大150万点の膜厚分布を短時間に測定できる装置です。

イメージング分光器ImSpector(インスペクター)を用いて、測定対象表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として、一度に測定し、画素ごとのスペクトルを独自アルゴリズムにより解析して、膜厚の分布を高解像度かつ高精度に測定します。
測定モードは、高精細／高速の２つのモードを備えています。高精細モードでは、Ａ４サイズの対象を1,024×1,536画素（0.2mmメッシュ）、約１０分で高解像度に測定します。一方高速モードでは、約１５秒で、対象面上３mmメッシュの膜厚分布を迅速に測定・表示します。
膜厚が「面」として観察できる特徴を活かし、製造条件の違いによる膜厚分布の微妙な変化の把握や膜厚分布と製品性能の関連性の評価に、また、生産現場での製品の評価・検査に、広く活用できます。

特長

　・0.1μm〜50μmの薄膜の膜厚分布を、分光干渉法により短時間でパタン測定 　
　・測定結果はその場でカラーマップ・鳥瞰図表示 　
　・高精細モードでは、Ａ４サイズの対象を、1,024×1,536画素で高分解能測定 　
　・高速モードでは、測定開始から表示まで約１５秒で迅速測定・観察 　
　・電子材料・半導体・各種フィルム分野での商品開発・製法開発・生産管理・品質保証に

主な仕様

その他

【用途】
・ガラス面コーティング　　・シリコンウェーハ上の酸化膜や窒化膜　　・樹脂面コーティング
・金属表面の酸化膜　　・包装用パッケージ　　等