製品情報
エピウェーハ厚さ測定機
| 製品名 | エピウェーハ厚さ測定機 |
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概要
エピ膜付シリコンウェーハの厚さを非接触で 多点の厚さ測定ができます。
※対象ウェーハ ： φ200、φ300エピ膜付シリコンウェーハ
特長
・分解能0.1 um の静電容量式厚さ計を使用し、独自の機構により安定した測定が可能
・測定位置、測定点数はご要望に対応して製作可能
・繰返し標準偏差 ： 0.1 um （参考値)
・分解能 ： 0.05μm（参考値）
| 製品名 | エピウェーハ厚さ測定機 |
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エピ膜付シリコンウェーハの厚さを非接触で 多点の厚さ測定ができます。
※対象ウェーハ ： φ200、φ300エピ膜付シリコンウェーハ
・分解能0.1 um の静電容量式厚さ計を使用し、独自の機構により安定した測定が可能
・測定位置、測定点数はご要望に対応して製作可能
・繰返し標準偏差 ： 0.1 um （参考値)
・分解能 ： 0.05μm（参考値）