製品情報

ドライレジストフィルム貼付装置　

製品名	ドライレジストフィルム貼付装置

概要

真空チャンバー内でウェーハ表面にフィルムを貼り付けます。

特長

・真空チャンバー内でフィルムを貼り付け
・ウェーハに対しカット径の任意設定が可能
・ノーテンション貼り付け
・多彩なフィルムの貼り付けが可能