製品情報

ディフェクト・レヴュー装置　

製品名 ディフェクト・レヴュー装置
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

300mmウェーハを光学顕微鏡によりオペレーターが外観検査を行い、良品判定もしくは 欠陥分類判定を行うシステムです。
ウェハの搬送はすべて自動で行われます。ゴミ検査装置等の結果データーにて欠陥のレヴューを行います。ウェーハ裏面に非接触、観察ウェハーの裏面に接触しないシステムです。

特長

・ウェーハ裏面に非接触
観察ウェーハの裏面に接触しないシステムです。キズ・ゴミなどの汚染がありません。
搬送ロボット・アライメントステージ・顕微鏡ステージなどすべてウェハは端面保持で完全な非破壊検査が可能です。

・クリーンシステム
Ｓｉ材料業界用装置で鍛えられた発塵を極限まで止めた機構部を流用。
Class-1を達成します。

・光学系のバリエーションが豊富
明視野・暗視野・ＤＩＣ・オートフォーカスなど
ご予算・観察方法・視野クオリティなどの目的によって、光学系の選択が可能です

・ローコスト対応
機能を絞り従来の300mmウェハのレヴューステーションの市場価格をかなり下回る価格を実現しました。

・拡張性
FOSBキャリア対応、FOUPロードポート取り付け、ミニエン対応なども対応可能です。（別途費用）

・対応フォーマット
TFF・KRAF・CSV等のフォーマットに対応いたします。

・画像保存システム
SXGA　高精細画面にてライブモニタリングと画像保存が可能です。

主な仕様

外形寸法：1,910mm（W）×1.378mm（H）×1,610mm（D）
※1キャリアタイプの寸法