概要

メタル砥石を水平方向、レジン砥石を縦方向、ウェーハは水平に回転させながら高精度に加工する研削機です。

【対象装置型式】

・CVP-2200

特長

• 外周精研削にレジンボンド砥石を使用。従来までの総型メタルボンド砥石を使用した面取り機と比較して下記の点で優れています。
• 面取り形状変更に伴う砥石の変更、段取り時間の軽減（１種類の砥石での研削が可能）。また、砥石を品種ごとに在庫する必要がありません。（砥石管理の簡素化）
• 特殊形状の研削が可能。（面幅非対称の研削が可能）
• 研削面の仕上げ粗さが向上。適正番手のレジンボンド砥石を用いることにより、メタルボンド砥石を使用した場合と比べて表面粗さがよく、チッピング・クラックを最小限にすることが可能です。

主な仕様