概要

本機は、シリコンインゴットの４辺角切り・外形円筒研削・平面研削をワンチャッキングにて各工程を自動で行うＣＮＣ複合機です。

（砥石軸数の組み合わせ変更可能）

特長

・角きり工程、コーナーＲ研削又は面取り、平面研削の各工程をニーズによって組み合わせ可能
・ワンチャッキングにて全ての工程の加工が可能であり、寸法バラつきが小さく、ウェーハリンク以降の後工程での評判は非常に高いシステム
・別途角切り工程とコーナー／平面研削を別々にし、生産効率をＵＰするマシンもご要望に応じて対応可能

主な仕様

加工ワーク　：　φ１５０〜２２０ｍｍ／５００〜２０００ｍｍ