概要

各種ウェーハの表面欠陥検査をレーザーで高感度、高速で行い、欠陥箇所だけを高倍率画像で解析するレーザー＋画像の複合式検査装置です。

特長

欠陥種類分析　
レーザー式の全面検査で検出した欠陥部位だけを画像式で撮影し、欠陥種類分析が可能です。
リアルタイム観察
レーザー式の全面検査で検出した欠陥のうち、気になる欠陥を微分干渉顕微鏡で、リアルタイムに観察できます。
自動アルバム作成
レーザー式の全面検査で検出した欠陥のうち、設定した欠陥について、微分干渉顕微鏡で撮影した画像を自動的にアルバム作成します。
単独使用
レーザー式欠陥検査装置、画像式欠陥検査装置として、単独使用も可能です。

主な仕様