製品情報

複合検査装置　

製品名	複合検査装置

概要

・本測定機は、高精度・高分解能・優れた安定性を有する接触式微細形状測定機をベースに、白色干渉式検出器、レーザーオートフォーカス式検出器を一体化しました。 3種の測定方式のデータ互換性を重視した次世代型の測定機です。さらに、一台の装置に一体化したことで、コンパクトになり、かつワークの異種法による測定が段取り換えなしで行えます。

特長

・３種類の測定が行える為、用途に応じた測定法を選択可能
　触針式検出器を使用⇒高精度な測定可能
　白色干渉式検出器を使用⇒高速非接触３次元測定が可能
　レーザーオートフォーカス検出器を使用⇒非接触測定が可能
・従来難しかった異手法による同一箇所の測定結果の比較が可能、同一供筐体なので、段取替え不要
・真直度を保証したベースに、各測定手法の特長を生かすことで、データの高信頼性を実現

その他

＊各種取扱ございます。詳細につきましてはお問合せ下さい。