製品情報

オートマチックウェーハスクラバー AWS-200

製品名 オートマチックウェーハスクラバー
型式 AWS-200
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

WJS−150の洗浄機構に搬送ロボットを加えた自動ウェーハ洗浄機です。
ローダーカセットに収納されたウェーハを下段より一枚づつ搬送用ロボットにて取り出し、ウェーハ表面をリンス洗浄、ブラシ洗浄、及び高圧ジェット洗浄し、高速スピンで乾燥させ、アンローダーカセットの上段に収納する全自動洗浄機です。

特長

・2アームロボットの採用により、ウェーハ交換時間が大幅に短縮
・地球環境汚染物質のフロン等を全く使用せず、純水のみを使用し洗浄
・リンス洗浄、ブラシ洗浄、高圧ジェット洗浄、スピン乾燥の各条件(時間・ステージ回転数)及び、各工程 順序をデジタル設定可能(MAX 20ステップ)
・ブラシ洗浄部のウェーハとブラシの接触量は任意設定が可能
・空気の流れを考慮した設計により、洗浄時洗浄槽に発生したダストの再付着を防止
・洗浄及び乾燥効率が高く短時間で洗浄可能

主な仕様

ウェーハサイズ:〜φ8”
ウェーハリングサイズ:〜φ6”
高速JET洗浄:〜100kg/㎠
ブラシ洗浄 or 超音波洗浄:ナイロン、ベルクリンor1.1MHz、100W(選択)
ステージ回転数:0rpm〜3,000rpm
品種登録数:10ch
洗浄ステップ:20ステップ
ウェーハ搬送方式:2アームロボット
カセット数 :ローダー・アンローダー各1カセット (オプションで5カセット可能)