製品情報

自動搬送付き洗浄機　

製品名	自動搬送付き洗浄機

概要

・GaAs,GaP,サファイア等のＬＥＤウェーハをプロセス上、洗浄又はエッチングを自動搬送にてを行う装置です。
・各種手動又は半自動の装置も取り扱いがございます。

特長

・高スループット
・長時間の高温処理
・4キャリア連続処理による大量生産・有機物除去・メタル汚染除去
・回転揺動タイプ⇒エッチング処理による面内均一性の向上