製品情報
異方性エッチング装置(KOH・TMAH）
| 製品名 | 異方性エッチング装置(KOH・TMAH） |
|---|
概要
Ｓｉ基板（１．０．０）を、KOHで垂直に深堀します。
特長
・エッチングムラ問題の解決→ ウェーハ表面 に発生する 水素ガスの剥離が可能
・薬液の濃度変化による問題を解決→部品メーカーと共同開発した、 独自の薬液濃度管理システムにより、
歩留まりの向上に寄与
・ウェーハの浮き上がり→安全に外周部を押さえ、浮き上がりを防ぐ
| 製品名 | 異方性エッチング装置(KOH・TMAH） |
|---|
Ｓｉ基板（１．０．０）を、KOHで垂直に深堀します。
・エッチングムラ問題の解決→ ウェーハ表面 に発生する 水素ガスの剥離が可能
・薬液の濃度変化による問題を解決→部品メーカーと共同開発した、 独自の薬液濃度管理システムにより、
歩留まりの向上に寄与
・ウェーハの浮き上がり→安全に外周部を押さえ、浮き上がりを防ぐ